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Measurement Science Review
Édition 16 (2016): Edition 4 (August 2016)
Accès libre
Sensitivity Jump of Micro Accelerometer Induced by Micro-fabrication Defects of Micro Folded Beams
Wu Zhou
Wu Zhou
,
Lili Chen
Lili Chen
,
Huijun Yu
Huijun Yu
,
Bei Peng
Bei Peng
et
Yu Chen
Yu Chen
| 19 août 2016
Measurement Science Review
Édition 16 (2016): Edition 4 (August 2016)
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Publié en ligne:
19 août 2016
Pages:
228 - 234
Reçu:
03 janv. 2016
Accepté:
10 août 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msr-2016-0028
Mots clés
MEMS
,
micro accelerometer
,
stiffness
,
sensitivity
,
defect
© 2016 Wu Zhou et al., published by De Gruyter Open
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Wu Zhou
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China
Lili Chen
College of Mechanical Engineering, Chengdu Technological University, 1 Zhongxing Ave., 611730, Chengdu, China
Huijun Yu
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China
Bei Peng
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China
Yu Chen
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China