Login
Registrieren
Passwort zurücksetzen
Veröffentlichen & Verteilen
Verlagslösungen
Vertriebslösungen
Themen
Allgemein
Altertumswissenschaften
Architektur und Design
Bibliotheks- und Informationswissenschaft, Buchwissenschaft
Biologie
Chemie
Geowissenschaften
Geschichte
Industrielle Chemie
Informatik
Jüdische Studien
Kulturwissenschaften
Kunst
Linguistik und Semiotik
Literaturwissenschaft
Materialwissenschaft
Mathematik
Medizin
Musik
Pharmazie
Philosophie
Physik
Rechtswissenschaften
Sozialwissenschaften
Sport und Freizeit
Technik
Theologie und Religion
Wirtschaftswissenschaften
Veröffentlichungen
Zeitschriften
Bücher
Konferenzberichte
Verlage
Blog
Kontakt
Suche
EUR
USD
GBP
Deutsch
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Warenkorb
Home
Zeitschriften
Measurement Science Review
Band 16 (2016): Heft 4 (August 2016)
Uneingeschränkter Zugang
Sensitivity Jump of Micro Accelerometer Induced by Micro-fabrication Defects of Micro Folded Beams
Wu Zhou
Wu Zhou
,
Lili Chen
Lili Chen
,
Huijun Yu
Huijun Yu
,
Bei Peng
Bei Peng
und
Yu Chen
Yu Chen
| 19. Aug. 2016
Measurement Science Review
Band 16 (2016): Heft 4 (August 2016)
Über diesen Artikel
Vorheriger Artikel
Nächster Artikel
Zusammenfassung
Referenzen
Autoren
Artikel in dieser Ausgabe
Vorschau
PDF
Zitieren
Teilen
Online veröffentlicht:
19. Aug. 2016
Seitenbereich:
228 - 234
Eingereicht:
03. Jan. 2016
Akzeptiert:
10. Aug. 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msr-2016-0028
Schlüsselwörter
MEMS
,
micro accelerometer
,
stiffness
,
sensitivity
,
defect
© 2016 Wu Zhou et al., published by De Gruyter Open
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Wu Zhou
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China
Lili Chen
College of Mechanical Engineering, Chengdu Technological University, 1 Zhongxing Ave., 611730, Chengdu, China
Huijun Yu
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China
Bei Peng
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China
Yu Chen
School of Mechatronics Engineering, University of Electronic Technology and Science of China, 2006 Xiyuan Ave., 611731, Chengdu, China