Logowanie
Zarejestruj się
Zresetuj hasło
Publikuj i Dystrybuuj
Rozwiązania Wydawnicze
Rozwiązania Dystrybucyjne
Dziedziny
Architektura i projektowanie
Bibliotekoznawstwo i bibliologia
Biznes i ekonomia
Chemia
Chemia przemysłowa
Filozofia
Fizyka
Historia
Informatyka
Inżynieria
Inżynieria materiałowa
Językoznawstwo i semiotyka
Kulturoznawstwo
Literatura
Matematyka
Medycyna
Muzyka
Nauki farmaceutyczne
Nauki klasyczne i starożytne studia bliskowschodnie
Nauki o Ziemi
Nauki o organizmach żywych
Nauki społeczne
Prawo
Sport i rekreacja
Studia judaistyczne
Sztuka
Teologia i religia
Zagadnienia ogólne
Publikacje
Czasopisma
Książki
Materiały konferencyjne
Wydawcy
Blog
Kontakt
Wyszukiwanie
EUR
USD
GBP
Polski
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Koszyk
Home
Czasopisma
Journal of Electrical Engineering
Tom 63 (2012): Zeszyt 5 (September 2012)
Otwarty dostęp
Hydrogenated amorphous silicon carbon nitride films prepared by PECVD technology: properties
Jozef Huran
Jozef Huran
,
Albín Valovič
Albín Valovič
,
Michal Kučera
Michal Kučera
,
Angela Kleinová
Angela Kleinová
,
Eva Kovačcová
Eva Kovačcová
,
Pavol Boháček
Pavol Boháček
oraz
Mária Sekáčová
Mária Sekáčová
| 20 lis 2012
Journal of Electrical Engineering
Tom 63 (2012): Zeszyt 5 (September 2012)
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Abstrakt
Referencje
Autorzy
Artykuły w tym zeszycie
Podgląd
PDF
Zacytuj
Udostępnij
Data publikacji:
20 lis 2012
Zakres stron:
333 - 335
DOI:
https://doi.org/10.2478/v10187-012-0049-z
Słowa kluczowe
hydrogenated amorphous silicon carbon nitride
,
PECVD
This content is open access.
Jozef Huran
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia
Albín Valovič
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia
Michal Kučera
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia
Angela Kleinová
Polymer Institute, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 84541 Bratislava, Slovakia
Eva Kovačcová
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia
Pavol Boháček
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia
Mária Sekáčová
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, D´ubravsk´a cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia