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Measurement Science Review
Band 14 (2014): Heft 1 (February 2014)
Uneingeschränkter Zugang
Generating Sub-nanometer Displacement Using Reduction Mechanism Consisting of Torsional Leaf Spring Hinges
Makoto Fukuda
Makoto Fukuda
,
Masato Hayashi
Masato Hayashi
und
Sintaro Marita
Sintaro Marita
| 06. März 2014
Measurement Science Review
Band 14 (2014): Heft 1 (February 2014)
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Online veröffentlicht:
06. März 2014
Seitenbereich:
48 - 51
DOI:
https://doi.org/10.2478/msr-2014-0008
Schlüsselwörter
Sub-nanometer displacement
,
reduction mechanism
,
torsional leaf spring hinge
,
displacement standard
,
AFM verification
This content is open access.