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Measurement Science Review
Band 18 (2018): Heft 6 (October 2018)
Uneingeschränkter Zugang
Electrostatic Force Microscopy Measurement System for Micro-topography of Non-conductive Devices
Gaofa He
Gaofa He
,
Jie Meng
Jie Meng
,
Renbing Tan
Renbing Tan
und
Peng Zhong
Peng Zhong
| 30. Nov. 2018
Measurement Science Review
Band 18 (2018): Heft 6 (October 2018)
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Online veröffentlicht:
30. Nov. 2018
Seitenbereich:
256 - 261
Eingereicht:
19. Juli 2018
Akzeptiert:
05. Nov. 2018
DOI:
https://doi.org/10.1515/msr-2018-0035
Schlüsselwörter
Electrostatic force microscopy
,
surface morphology
,
precise measurement
,
scanning probe microscopy
© 2018 Gaofa He et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Gaofa He
School of Mechanical and Power Engineering Chongqing University of Science and Technology
Chongqing, China
Jie Meng
School of Mechanical and Power Engineering Chongqing University of Science and Technology
Chongqing, China
Renbing Tan
School of Mathematics and Physics Chongqing University of Science and Technology
Chongqing, China
Peng Zhong
School of Mechanical and Power Engineering Chongqing University of Science and Technology
Chongqing, China