Logowanie
Zarejestruj się
Zresetuj hasło
Publikuj i Dystrybuuj
Rozwiązania Wydawnicze
Rozwiązania Dystrybucyjne
Dziedziny
Architektura i projektowanie
Bibliotekoznawstwo i bibliologia
Biznes i ekonomia
Chemia
Chemia przemysłowa
Filozofia
Fizyka
Historia
Informatyka
Inżynieria
Inżynieria materiałowa
Językoznawstwo i semiotyka
Kulturoznawstwo
Literatura
Matematyka
Medycyna
Muzyka
Nauki farmaceutyczne
Nauki klasyczne i starożytne studia bliskowschodnie
Nauki o Ziemi
Nauki o organizmach żywych
Nauki społeczne
Prawo
Sport i rekreacja
Studia judaistyczne
Sztuka
Teologia i religia
Zagadnienia ogólne
Publikacje
Czasopisma
Książki
Materiały konferencyjne
Wydawcy
Blog
Kontakt
Wyszukiwanie
EUR
USD
GBP
Polski
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Koszyk
Home
Czasopisma
Materials Science-Poland
Tom 34 (2016): Zeszyt 1 (March 2016)
Otwarty dostęp
Preliminary comparison of three processes of AlN oxidation: dry, wet and mixed ones
R. Korbutowicz
R. Korbutowicz
oraz
A. Zakrzewski
A. Zakrzewski
| 27 kwi 2016
Materials Science-Poland
Tom 34 (2016): Zeszyt 1 (March 2016)
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Abstrakt
Artykuł
Ilustracje i tabele
Referencje
Autorzy
Artykuły w tym zeszycie
Podgląd
PDF
Zacytuj
Udostępnij
Article Category:
Research Article
Data publikacji:
27 kwi 2016
Zakres stron:
157 - 163
Otrzymano:
16 sie 2016
Przyjęty:
16 lis 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2016-0010
Słowa kluczowe
thermal oxidation
,
AlN
,
AlO
,
AlON
,
EDS
,
SE
© 2016 Wroclaw University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
R. Korbutowicz
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11-17, 50-370 Wroclaw,
Poland
A. Zakrzewski
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11-17, 50-370 Wroclaw,
Poland