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Materials Science-Poland
Band 38 (2020): Heft 1 (March 2020)
Uneingeschränkter Zugang
Research on the influence of the filtrating electrode on the structure and optical properties of TiO
2
thin films prepared by the energy filtering magnetron sputtering technique
Zhaoyong Wang
Zhaoyong Wang
,
Weifen Jiang
Weifen Jiang
,
Yifan Lu
Yifan Lu
,
Xinlian Wang
Xinlian Wang
,
Xiaoya Huang
Xiaoya Huang
und
Ning Yao
Ning Yao
| 08. Mai 2020
Materials Science-Poland
Band 38 (2020): Heft 1 (March 2020)
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Online veröffentlicht:
08. Mai 2020
Seitenbereich:
1 - 7
Eingereicht:
21. Nov. 2016
Akzeptiert:
23. Apr. 2018
DOI:
https://doi.org/10.2478/msp-2019-0082
Schlüsselwörter
energy filtering magnetron sputtering
,
TiO thin film
,
optical property
© 2020 Zhaoyong Wang et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.